等離子體表面處理設備工藝氣體控制的控制閥有什么作用？

來源：普樂斯瀏覽：次發(fā)布日期：2019-08-13 09:13【大中小】

文章導讀：真空型等離子體表面處理設備工藝氣體控制是設備氣路控制的重要組成，控制工藝氣體的控制閥主要有真空電磁閥、止逆閥、氣動球閥三種，它們分別的作用有哪些？應該如何選擇呢？

用于氣路控制的控制閥種類繁多，等離子體表面處理設備所常用的氣路控制閥，如按操作的方式分，可分為自動控制閥與手動控制閥；按控制的方式分，則可分為電磁閥與氣動控制閥；如按工作時的壓力分，可分為真空閥和低、中壓控制閥等。真空型等離子體表面處理設備上的工藝氣體控制閥起到什么樣的作用呢？這些選擇的小技巧你應該知道。

一、真空電磁閥

真空電磁閥是與等離子體表面處理設備的真空腔體相連，起到保證設備密封性和真空度的作用。在常規(guī)的工藝氣體控制上，所使用的一般都是真空電磁閥，并且因為工藝氣體都是單路控制的，所以在真空電磁閥的選擇一般都為兩位兩通式的真空電磁閥。

二、氣動球閥
等離子體表面處理設備的氣動球閥口徑較大、耐腐蝕性好，且具備高真空密封性的特點，當?shù)入x子體表面處理設備需通入特殊的單體時，一般會選擇氣動球閥。根據使用的實際需求，可選用兩通式或三通式的氣動球閥。

三、止逆閥
止逆閥也叫止回閥，在氣路控制的主要起到的作用是防止氣體回流，保護氣路控制部分的其他器件以及防止相互反應氣體發(fā)生匯合。需要提醒大家的是，在止逆閥的使用中還需注意其標注的氣流方向。下圖是等離子體表面處理設備中較為典型的真空電磁閥和止逆閥搭配使用的情況。

以上就是等離子體表面處理設備工藝氣體控制的三種控制閥的各自作用及選擇的建議，控制閥在等離子體表面處理設備的工藝氣體控制上起到重要作用，如果您想要了解更多關于等離子體表面處理設備的詳細內容或在設備使用中有疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！

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