等離子鍵合:等離子清洗機在引線框架生產(chǎn)中的應(yīng)用
文章導(dǎo)讀:引線框架是IC封裝行業(yè)中重要的原材料之一,它在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用廣泛,封裝的工藝需要在引線框架上進行處理,而引線框架上存在的污染物是制約半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的重要因素;各大企業(yè)尋求各種解決的方法,一種干式清洗方式的等離子清洗機應(yīng)運而生。
引線框架是IC封裝行業(yè)中重要的原材料之一,它在半導(dǎo)體行業(yè)中應(yīng)用廣泛,封裝的工藝需要在引線框架上進行處理,而引線框架上存在的污染物是制約半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展的重要因素;各大企業(yè)尋求各種解決的方法,一種干式清洗方式的等離子清洗機應(yīng)運而生。
1、應(yīng)用領(lǐng)域
1)點膠裝片前
工件上如果存在污染物,在工件上點的銀膠就生成圓球狀,大大降低與芯片的粘結(jié)性,采用等離子清洗可以增加工件表面的親水性,可以提高點膠的成功率,同時還能夠節(jié)省銀膠使用量,降低了生產(chǎn)成本。
2)引線鍵合前
封裝芯片在引線框架工件上粘貼后,必須要經(jīng)過高溫固化。假如工件上面存在污染物,這些污染物會導(dǎo)致引線與芯片及工件之間焊接效果差或黏附性差,影響工件的鍵合強度。等離子體清洗工藝運用在引線鍵合前,會明顯提高其表面活性,從而提高工件的鍵合強度及鍵合引線的拉力均勻性。
2、工藝影響
1)氬氣
氬氣是一種無色、無味的單原子氣體,氬氣的密度是空氣的1.4倍,是氦氣的10倍。
物理等離子體清洗過程中,氬氣產(chǎn)生的離子攜帶能量轟擊工件表面,剝離掉表面無機污染物。該清洗工藝可提高工件表面活性,提高封裝中鍵合性能。
氬離子的優(yōu)勢在于它是一個物理反應(yīng),清洗工件表面不會帶來氧化物;缺點是工件材料可能產(chǎn)生過量腐蝕,但可通過調(diào)整清洗工藝參數(shù)得到解決。
2)氧氣
氧氣是無色無味氣體,是氧元素最常見的單質(zhì)形態(tài)。
氧離子在反應(yīng)倉內(nèi)與有機污染物反應(yīng),生成二氧化碳和水。清洗速度和更多的清洗選擇性是化學(xué)等離子清洗的優(yōu)點。缺點是在工件上可能形成氧化物,所以在引線鍵合應(yīng)用中,氧離子不允許出現(xiàn)。
3)氫氣
氫氣是世界上已知的密度最小的氣體,氫氣的密度只有空氣的1/14,即在101.325千帕(1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓)和0℃,氫氣的密度為0.089g/L。
氫離子發(fā)生還原反應(yīng),去除工件表面氧化物。出于氫氣的安全性考慮,推薦使用氫氬混合氣體的等離子清洗工藝。
等離子清洗機被引用到IC封裝行業(yè)的各個工序中,當(dāng)然我們要根據(jù)需求進行工藝的選擇,真空狀態(tài)下的等離子作用能夠基本去除材料表面的無機/有機污染,提高材料的表面活性,增加引線的鍵合能力,防止封裝的分層,有利于后續(xù)的加工處理。

1)點膠裝片前
工件上如果存在污染物,在工件上點的銀膠就生成圓球狀,大大降低與芯片的粘結(jié)性,采用等離子清洗可以增加工件表面的親水性,可以提高點膠的成功率,同時還能夠節(jié)省銀膠使用量,降低了生產(chǎn)成本。
2)引線鍵合前
封裝芯片在引線框架工件上粘貼后,必須要經(jīng)過高溫固化。假如工件上面存在污染物,這些污染物會導(dǎo)致引線與芯片及工件之間焊接效果差或黏附性差,影響工件的鍵合強度。等離子體清洗工藝運用在引線鍵合前,會明顯提高其表面活性,從而提高工件的鍵合強度及鍵合引線的拉力均勻性。

1)氬氣
氬氣是一種無色、無味的單原子氣體,氬氣的密度是空氣的1.4倍,是氦氣的10倍。
物理等離子體清洗過程中,氬氣產(chǎn)生的離子攜帶能量轟擊工件表面,剝離掉表面無機污染物。該清洗工藝可提高工件表面活性,提高封裝中鍵合性能。
氬離子的優(yōu)勢在于它是一個物理反應(yīng),清洗工件表面不會帶來氧化物;缺點是工件材料可能產(chǎn)生過量腐蝕,但可通過調(diào)整清洗工藝參數(shù)得到解決。
2)氧氣
氧氣是無色無味氣體,是氧元素最常見的單質(zhì)形態(tài)。
氧離子在反應(yīng)倉內(nèi)與有機污染物反應(yīng),生成二氧化碳和水。清洗速度和更多的清洗選擇性是化學(xué)等離子清洗的優(yōu)點。缺點是在工件上可能形成氧化物,所以在引線鍵合應(yīng)用中,氧離子不允許出現(xiàn)。
3)氫氣
氫氣是世界上已知的密度最小的氣體,氫氣的密度只有空氣的1/14,即在101.325千帕(1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓)和0℃,氫氣的密度為0.089g/L。
氫離子發(fā)生還原反應(yīng),去除工件表面氧化物。出于氫氣的安全性考慮,推薦使用氫氬混合氣體的等離子清洗工藝。


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