等離子表面處理選用的氣體為氧氫氮時有哪些注意的？
文章導(dǎo)讀：等離子表面處理所用的工藝氣體有氧氣、氬氣、氮氣 、壓縮空氣、二氧化碳 、氫氣、四氟化碳等，其中使用較多的就是氧氫氮三種了，那么它們分別有哪些需要注意的呢？
應(yīng)用等離子表面處理進行處理的材料非常廣泛，它們有著不同的處理要求和目的，此時我們所選用的工藝氣體也會有所不同，較常見的就是氧氣、氫氣、氮氣三種，當等離子表面處理選用的氣體為這三種工藝氣體的時候，有哪些需要注意的？該如何選擇呢？
一、當選用氣體為氧氣
氧氣主要應(yīng)用于高分子材料表面活化及有機污染物去除，但不適用于易氧化的金屬表面。真空等離子狀態(tài)下的氧等離子呈現(xiàn)淡藍色，部分放電條件下類似白色。放電環(huán)境光線比較亮，肉眼觀察時可能會出現(xiàn)看不到真空腔體內(nèi)有放電的情況。
二、當選用氣體為氫氣
氫氣氣作為工藝氣體在微電子、半導(dǎo)體及線路板制造行業(yè)使用較廣。在使用時需要注意的是：因氫氣為危險性氣體，未被電離時與氧氣匯合會發(fā)生自爆，所以在等離子體表面處理設(shè)備中通常是禁止兩種氣體混合使用的。真空等離子狀態(tài)下氫等離子呈紅色，與氬等離子類似，要相同的放電環(huán)境下比氬等離子顏色略深。
氧氣主要應(yīng)用于高分子材料表面活化及有機污染物去除，但不適用于易氧化的金屬表面。真空等離子狀態(tài)下的氧等離子呈現(xiàn)淡藍色，部分放電條件下類似白色。放電環(huán)境光線比較亮，肉眼觀察時可能會出現(xiàn)看不到真空腔體內(nèi)有放電的情況。
二、當選用氣體為氫氣
氫氣氣作為工藝氣體在微電子、半導(dǎo)體及線路板制造行業(yè)使用較廣。在使用時需要注意的是：因氫氣為危險性氣體，未被電離時與氧氣匯合會發(fā)生自爆，所以在等離子體表面處理設(shè)備中通常是禁止兩種氣體混合使用的。真空等離子狀態(tài)下氫等離子呈紅色，與氬等離子類似，要相同的放電環(huán)境下比氬等離子顏色略深。
三、當選用氣體為氮氣
氮氣粒子比較重，是介乎在活性氣體與惰性氣體之間的一種氣體，能夠達到轟擊和刻蝕的效果，同時也可以防止部分的金屬表面出現(xiàn)氧化。氮氣與其他氣體組合形成的等離子體通常會被應(yīng)用于一些特殊材料的處理。真空等離子狀態(tài)下氮等離子呈紅色，在相同的放電環(huán)境下，氮等離子會比氬等離子和氫等離子更亮一些。
氮氣粒子比較重，是介乎在活性氣體與惰性氣體之間的一種氣體，能夠達到轟擊和刻蝕的效果，同時也可以防止部分的金屬表面出現(xiàn)氧化。氮氣與其他氣體組合形成的等離子體通常會被應(yīng)用于一些特殊材料的處理。真空等離子狀態(tài)下氮等離子呈紅色，在相同的放電環(huán)境下，氮等離子會比氬等離子和氫等離子更亮一些。
以上就是當?shù)入x子表面處理選用氣體為氧氣、氫氣、氮氣時的注意事項和應(yīng)用的選擇區(qū)別，如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問，歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢，或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009，普樂斯恭候您的來電！
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