山東大學(xué)團(tuán)隊(duì)，成功研制4英寸氧化鎵，這種材料能通過(guò)等離子清洗機(jī)處理嗎？
文章導(dǎo)讀：近日，山東大學(xué)陶緒堂教授團(tuán)隊(duì)使用導(dǎo)模法(EFG)成功制備了外形完整的4英寸(001)主面氧化鎵(β-Ga2O3)單晶，并對(duì)其性能進(jìn)行了分析。
近日，山東大學(xué)陶緒堂教授團(tuán)隊(duì)使用導(dǎo)模法(EFG)成功制備了外形完整的4英寸(001)主面氧化鎵(β-Ga2O3)單晶，并對(duì)其性能進(jìn)行了分析。這種材料能通過(guò)等離子清洗機(jī)處理嗎？
勞厄測(cè)試衍射斑點(diǎn)清晰、對(duì)稱，說(shuō)明晶體具有良好的單晶性，無(wú)孿晶；X射線衍射搖擺曲線顯示晶體(400)面半峰全寬僅為57.57″，結(jié)晶質(zhì)量較高；濕法化學(xué)腐蝕測(cè)試結(jié)果表明，晶體位錯(cuò)密度為1.06×104 cm-2；C-V測(cè)試確認(rèn)β-Ga2O3晶體中載流子濃度為7.77×1016 cm-3。測(cè)試結(jié)果表明，該團(tuán)隊(duì)通過(guò)導(dǎo)模法獲得了高質(zhì)量的4英寸β-Ga2O3單晶。相關(guān)內(nèi)容以“4英寸氧化鎵單晶生長(zhǎng)與性能研究”為題已在《人工晶體學(xué)報(bào)》網(wǎng)絡(luò)首發(fā)（DOI：10.16553/j.cnki.issn1000-985x.20220831.001.）。該成果是繼2019年團(tuán)隊(duì)獲得4英寸(100)主面單晶后的又一新突破。
此外，團(tuán)隊(duì)通過(guò)優(yōu)化提拉法晶體生長(zhǎng)工藝，在原有1英寸晶體基礎(chǔ)上，成功放大到2英寸，晶體外形規(guī)整、無(wú)裂紋，晶體質(zhì)量較高。晶體生長(zhǎng)尺寸與德國(guó)IKZ及美國(guó)空軍實(shí)驗(yàn)室相當(dāng)，達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。
山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在國(guó)內(nèi)最早開展導(dǎo)模法氧化鎵單晶生長(zhǎng)，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期潛心攻關(guān)，從零開始，先后突破了1~4英寸氧化鎵單晶生長(zhǎng)、缺陷、摻雜、加工等關(guān)鍵核心技術(shù)。通過(guò)導(dǎo)模法、提拉法等多種晶體生長(zhǎng)方法，生長(zhǎng)出n型導(dǎo)電及半絕緣氧化鎵晶體并開展了系統(tǒng)的晶體加工和缺陷研究，為打破國(guó)外技術(shù)封鎖和產(chǎn)品禁運(yùn)奠定了基礎(chǔ)。
β-Ga2O3作為超寬禁帶半導(dǎo)體材料，可用于制備功率器件、紫外探測(cè)器、高能射線探測(cè)器，同時(shí)也可作為GaN、ZnO等半導(dǎo)體的襯底材料使用。由于超高的擊穿場(chǎng)強(qiáng)和巴利加優(yōu)值，β-Ga2O3功率器件具有耐壓高、導(dǎo)通損耗低、開關(guān)速度快的優(yōu)點(diǎn)。目前，β-Ga2O3二極管及場(chǎng)效應(yīng)晶體管器件耐壓均可達(dá)幾千伏，器件擊穿場(chǎng)強(qiáng)已超過(guò)SiC和GaN的理論極限。
由于β-Ga2O3禁帶寬度為4.8 eV，吸收截止邊位于260 nm處，紫外透過(guò)率可達(dá)80%以上，并且具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。因此，β-Ga2O3晶體自身便滿足“日盲”光電器件的需求，避免了目前常用氮化物需要合金化等復(fù)雜問(wèn)題。β-Ga2O3晶體因其卓越的材料性能，在深紫外光電探測(cè)以及超高壓功率器件方面具有重要的應(yīng)用，也是最近美國(guó)等西方國(guó)家對(duì)我國(guó)實(shí)施禁運(yùn)的關(guān)鍵材料。
本文來(lái)源于半導(dǎo)體材料與工藝，僅供分享，如有侵權(quán)請(qǐng)聯(lián)系管理員刪除！
昆山普樂(lè)斯電子13年專注研制等離子清洗機(jī)，等真空離子清洗機(jī)，等離子表面處理設(shè)備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理設(shè)備，大氣低溫等離子表面處理系統(tǒng)，大氣常壓收放卷等離子表面 設(shè)備處理的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，普樂(lè)斯嚴(yán)格執(zhí)行ISO9001質(zhì)量體系管理，生產(chǎn)的等離子清洗機(jī)通過(guò)歐盟CE認(rèn)證，為電子、半導(dǎo)體封裝、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗、活化、刻蝕、涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機(jī)廠家。如果您想要了解關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中存在疑問(wèn)，歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一 服務(wù)熱線400-816-9009，普樂(lè)斯隨時(shí)恭候您的來(lái)電！
山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室在國(guó)內(nèi)最早開展導(dǎo)模法氧化鎵單晶生長(zhǎng)，經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期潛心攻關(guān)，從零開始，先后突破了1~4英寸氧化鎵單晶生長(zhǎng)、缺陷、摻雜、加工等關(guān)鍵核心技術(shù)。通過(guò)導(dǎo)模法、提拉法等多種晶體生長(zhǎng)方法，生長(zhǎng)出n型導(dǎo)電及半絕緣氧化鎵晶體并開展了系統(tǒng)的晶體加工和缺陷研究，為打破國(guó)外技術(shù)封鎖和產(chǎn)品禁運(yùn)奠定了基礎(chǔ)。
由于β-Ga2O3禁帶寬度為4.8 eV，吸收截止邊位于260 nm處，紫外透過(guò)率可達(dá)80%以上，并且具有良好的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性。因此，β-Ga2O3晶體自身便滿足“日盲”光電器件的需求，避免了目前常用氮化物需要合金化等復(fù)雜問(wèn)題。β-Ga2O3晶體因其卓越的材料性能，在深紫外光電探測(cè)以及超高壓功率器件方面具有重要的應(yīng)用，也是最近美國(guó)等西方國(guó)家對(duì)我國(guó)實(shí)施禁運(yùn)的關(guān)鍵材料。
昆山普樂(lè)斯電子13年專注研制等離子清洗機(jī)，等真空離子清洗機(jī)，等離子表面處理設(shè)備，常壓大氣和低壓真空型低溫等離子表面處理設(shè)備，大氣低溫等離子表面處理系統(tǒng)，大氣常壓收放卷等離子表面 設(shè)備處理的國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，普樂(lè)斯嚴(yán)格執(zhí)行ISO9001質(zhì)量體系管理，生產(chǎn)的等離子清洗機(jī)通過(guò)歐盟CE認(rèn)證，為電子、半導(dǎo)體封裝、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗、活化、刻蝕、涂覆的等離子表面處理解決方案，是行業(yè)內(nèi)值得信賴的等離子清洗機(jī)廠家。如果您想要了解關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中存在疑問(wèn)，歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線客服進(jìn)行咨詢，或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一 服務(wù)熱線400-816-9009，普樂(lè)斯隨時(shí)恭候您的來(lái)電！
“推薦閱讀”
- 美成熟制程芯片低價(jià)沖擊國(guó)內(nèi)市場(chǎng) 商務(wù)部：將依法啟動(dòng)調(diào)查
- 醫(yī)療導(dǎo)管等離子蝕刻機(jī)介紹
- 昆山普樂(lè)斯通過(guò)高新技術(shù)企業(yè)重新認(rèn)定
- 我國(guó)新能源汽車銷量蟬聯(lián)全球第一，新能源汽車促進(jìn)等離子清洗機(jī)表面處理事業(yè)發(fā)展！
- 蘋果發(fā)布兩顆芯片：M2 Pro 和 M2 Max，等離子清洗機(jī)能夠應(yīng)用在上面嗎？
- 2022年硬盤出貨量：大幅下跌，接近腰斬，這對(duì)等離子清洗機(jī)有什么樣影響呢？
普樂(lè)斯推薦
行業(yè)資訊
- 美成熟制程芯片低價(jià)沖擊國(guó)內(nèi)市場(chǎng) 商務(wù)部：將依法啟動(dòng)調(diào)查
- 醫(yī)療導(dǎo)管等離子蝕刻機(jī)介紹
- 昆山普樂(lè)斯通過(guò)高新技術(shù)企業(yè)重新認(rèn)定
- 我國(guó)新能源汽車銷量蟬聯(lián)全球第一，新能源汽車促進(jìn)等離子清洗機(jī)表面處理事業(yè)發(fā)展！
- 蘋果發(fā)布兩顆芯片：M2 Pro 和 M2 Max，等離子清洗機(jī)能夠應(yīng)用在上面嗎？
- 2022年硬盤出貨量：大幅下跌，接近腰斬，這對(duì)等離子清洗機(jī)有什么樣影響呢？
- 博世在蘇州投資建立新能源汽車核心部件及自動(dòng)駕駛研發(fā)制造基地，促進(jìn)等離子清洗機(jī)行業(yè)發(fā)展！
- 2022年汽車銷量2686.4萬(wàn)，新能源市場(chǎng)占有率達(dá)到25.6%，等離子清洗機(jī)的能夠帶來(lái)什么變化？
- 確保芯片供應(yīng)充分，重塑汽車產(chǎn)業(yè)集群，等離子清洗機(jī)成為汽車領(lǐng)域的一員呢？
- 電子后視鏡正式在我國(guó)獲批，新的市場(chǎng)出現(xiàn)，等離子清洗機(jī)能夠做哪些工作呢？
蘇公網(wǎng)安備 32058302002178號(hào)
