關(guān)于氮氣DBD等離子清洗機均勻放電的實驗數(shù)據(jù)分析
文章導(dǎo)讀:普樂斯通過上篇文章講到DBD大氣壓氮氣等離子清洗機均勻放電的研究裝置,經(jīng)過測試,我們可以得到外加電壓與放電總電流波形圖、氣體間隙的側(cè)面所拍攝的放電圖像,從而能夠得到氣隙電壓和運流電流存在的關(guān)系的圖像呈現(xiàn)。
上篇我們介紹了氮氣DBD等離子清洗機均勻放電的實驗裝置,并且得到充足的實驗數(shù)據(jù),通過整理這些數(shù)據(jù),我們可以得出以下數(shù)據(jù)圖像并對此進行數(shù)據(jù)分析研究,下圖是外加電壓幅值為12kV、頻率3kHz時得到的典型的外加電壓與放電總電流的波形圖。從圖中可以看出,外加電壓為準(zhǔn)正弦波形;每半個電壓周期中有一次放電,電流脈沖的幅值約為4.5mA,半高寬約為50μs。

以上是從氣體間隙的側(cè)面所拍攝的放電圖像,從圖中可以看出,間隙中靠近瞬時陽極的阻擋介質(zhì)附近有一個薄薄的發(fā)光層,沒有明暗相間的放電細絲。結(jié)合兩圖所示的電流波形與放電圖像,我們可以判斷該條件下獲得的放電為一種均勻放電。

通過改變外加電壓Va或關(guān)閉純凈氮氣流的不斷吹入等方式,我們又能夠比較容易地得到下圖所示的大氣壓氮氣DBD等離子清洗機絲狀放電的典型波形圖和放電圖像非均勻放電。可以看到這種放電與均勻放電有明顯的差異。當(dāng)放電劇烈時,大量的放電細絲此起彼伏,會給人的肉眼或長時間曝光的相機造成等離子清洗機均勻放電的假象,其實質(zhì)則是絲狀放電。

上圖是按照彭寧電離公式計算后得到的氣隙電壓和運流電流波形圖。由于氮氣中DBD均勻放電的強度比較弱,所以不能忽略了位移電流,也就是說不能像氦氣中那樣把測量到的總電流近似作為運流電流。從下圖中可讀出運流電流的幅值、半高寬等信息。氣隙電壓Vg如圖中粗實線所示,可以看出它與氦氣中的氣隙電壓Vg有明顯的差異:氮氣DBD等離子清洗機均勻放電在間隙放電過程中沒有下跌反而隨著放電過程繼續(xù)升高;同時隨著Vg的持續(xù)升高電流反而很快衰減并熄滅了,這些現(xiàn)象稱之為“反常熄滅”。
以上就是關(guān)于氮氣DBD等離子清洗機均勻放電的實驗數(shù)據(jù)分析,希望與大家共同探討。普樂斯電子9年專注研制DBD等離子設(shè)備,等離子表面處理設(shè)備,已通過ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認證,為電子、半導(dǎo)體、汽車、yi療等領(lǐng)域的客戶提供清洗,活化,刻蝕,涂覆的等離子表面處理解決方案。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問,歡迎點擊普樂斯的在線客服進行咨詢,或者直接撥打全國統(tǒng)一服務(wù)熱線400-816-9009,普樂斯恭候您的來電!
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【本文標(biāo)簽】:DBD等離子清洗機均勻放電數(shù)據(jù)分析
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